FM・FVシリーズ
高真空装置・部品
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「電子ビーム励起レーザー用真空チャンバー」
各種高真空装置および部品です。御希望の形状で各種装置を製作いたします。
ご用途や仕様などでご指定やご質問がありましたら、お気軽にご連絡ください。
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以下、各種製品の紹介↓ |
分子吸着測定用真空装置
FM-M-10 |
概略図
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 本装置は分子吸着による透過率変動を測定するために開発されたものです。
液体窒素によりサンプルを伝導冷却します。
測定室内面積を可能な限り低減する構造になっています。
本装置は測定室と液体窒素貯蔵室にわかれてます。
外部からサンプルを回転させることが出来ます。
透過率変動測定用窓が真空槽に設けられています。
容器外部に測定室内ガス流量調整用バリアブルリークバルブが設けられています。 |
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| FMシリーズ |
FM-M-10 |
| 冷却機構 |
液体窒素による伝導冷却方式 |
| 測定室寸法 |
30×30×25mm |
| サンプルホルダー寸法 |
φ20mm |
| サンプル回転導入角度 |
±60° |
| 到達真空度 |
5×10-5Torr |
| 用途 |
分子吸着による透過率変動の測定 |
| オプション装備 |
透過率変動測定用窓（入射および出射）
バリアブルリークバルブ |
| 保障期間 |
1年 |
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FVシリーズ
ディスプレイ作成用高真空排気装置
FV-D-1000 |
概略図
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本製品はディスプレイ作成等の蒸着作業を目的として開発されたものです。他にも様々な用途に使用可能です。
最高到達真空度は〜10-6Paです。
装置側面および上面に開閉式作業用ガラス窓が設けられています。
中央のゲートバルブを閉じることにより作業室と評価室を分けることが出来るので作業と評価の同時進行が可能です。
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| FVシリーズ |
FV-D--1000 |
| 構成 |
1 … 複合分子ポンプ
2 … ロータリーポンプ
3 … 高真空ゲートバルブ
4 … 開閉式作業用ガラス窓
5 … R/L導入機
6 … 電離真空計
7 … サーモカップ真空計
8 … 複合分子ポンプ用パワーサプライ
9 … 自在キャスター |
| 用途 |
ディスプレイ作成等の蒸着作業、その他様々な用途に使用可能 |
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